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產(chǎn)品一覽

  • MOCVD鎢及錸發(fā)熱體
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MOCVD鎢及錸發(fā)熱體

我們始終堅(jiān)持以自產(chǎn)的鎢、鉬、鉭、鈮等難熔金屬材料作為品質(zhì)基礎(chǔ),擁有各類線切割、磨床、銑床、加工中心等全套完整的高精度材料機(jī)械加工裝備。能夠按客戶的要求設(shè)計(jì)、生產(chǎn)加工高精度高品質(zhì)產(chǎn)品。

產(chǎn)品介紹


產(chǎn)品用途:

用作半導(dǎo)體MOCVD設(shè)備的部件。

Application:

 They are used as a component of semiconductor MOCVD system.

 

產(chǎn)品加工精度參數(shù)/Product Processing Accuracy Parameters

主要材質(zhì)Main Materials

加工范圍Processing

Range

尺寸精度Dimensional Accuracy

(mm)

形狀精度Shape Accuracy 

(mm)

位置精度Position Accuracy (mm)

光潔度Finish

(Ra, μm)

W、RE

0.00-5.00

±0.003

0.01

0.005

0.2-0.4

WRE

5.01-15.00

±0.005

0.015

0.006

0.4

W、RE

15.01-30

±0.008

0.02

0.007

0.4

W、RE

30.01-100

±0.010

0.025

0.008

0.6

W、RE

>100

±0.0127

0.030

0.010

0.6

 


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