產(chǎn)品用途：
用作擴(kuò)散阻擋層，阻止鋁或銅在硅中的擴(kuò)散，同時(shí)對(duì)與其接觸的材料有粘附作用。
Application:
It is used as a diffusion barrier to prevent the diffusion of Al or Cu in Si, and has adhesion to the materials in contact with it.
產(chǎn)品性能參數(shù)/Product Property Parameters：
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化學(xué)成分
Chemical Compositions
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主含量，（%）
Main Content, %
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W
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89.45~90.45
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Ti
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10±0.5
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雜質(zhì)含量
（質(zhì)量分?jǐn)?shù)），
（%，不大于）
Impurity Content (mass fraction), %, max
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Fe
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0.0030
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Al
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0.0020
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Si
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0.0010
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Mg
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0.0010
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Ni
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0.0010
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Ca
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0.0020
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Cu
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0.0010
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Pb
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0.0010
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Bi
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0.0010
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Sn
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0.0010
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Sb
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0.0010
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As
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0.0010
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Mo
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0.0060
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P
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0.0020
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C
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0.0020
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N
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0.0020
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O
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0.0020
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注：鉬含量為100%減去表中所列雜質(zhì)元素實(shí)測(cè)含量的總和（不包含氣體元素）；需方如有特殊要求時(shí)，由供需雙方協(xié)商確定，并在合同或訂貨單中注明。
Note: Molybdenum content is the sum of 100% minus the measured content of impurity elements listed in the table (excluding gas elements). Special requirements will be agreed upon by the supplier and buyer, and indicated in the contract or purchase order.
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其他性能Others:
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相對(duì)密度
Relative Density
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平均晶粒尺寸
Average Grain Size
(μm)
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粗糙度
Roughness
(Ra, μm)
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平面度
Flatness
（mm）
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≥98%
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≤100
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≤0.8
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≤1%
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尺寸Size:
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形狀
Shape
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厚度
Thickness（mm）
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寬度
Width（mm）
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長(zhǎng)度
Length（mm）
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直徑
Diameter（mm）
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圓形Round
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3-25
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-
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-
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≤450
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注：如有特殊要求，雙方具體商定。
Note: Special requirements will be agreed upon by the supplier and buyer.
